掃描電子顯微鏡

簡要描述：Applied Materials CX 200 掃描電子顯微鏡
設備概述
型號: SEMVision CX 200
制造商: Applied Materials
應用領域: 半導體制造環(huán)境
主要特性
光學系統(tǒng): 0.2 NA 光學系統(tǒng)
高分辨率彩色相機
電動龍門
CO2激光準直光學設計
低噪聲冷卻CCD相機
可調LED光源
多測量模式

產品型號：CX 200
廠商性質：經銷商
更新日期：2025-03-26
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光學儀器及設備

光學顯微鏡光學計量儀晶圓檢測儀顆粒檢測儀橢圓偏光儀薄膜厚度測試儀電子顯微鏡

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Applied Materials CX 200 掃描電子顯微鏡

設備概述

型號: SEMVision CX 200

制造商: Applied Materials

應用領域: 半導體制造環(huán)境

主要特性

光學系統(tǒng): 0.2 NA 光學系統(tǒng)

高分辨率彩色相機

電動龍門

CO2激光準直光學設計

低噪聲冷卻CCD相機

可調LED光源

多測量模式

技術優(yōu)勢

改進的性能和產量監(jiān)控

支持優(yōu)良集成電路設計的制造

檢測微觀尺度的缺陷和非均勻區(qū)域

配置選項

自動化掩模書寫功能

自動化檢查技術

檢測能力

單晶圓檢測速度: ≤90 s (在流水線模式下)

單晶圓缺陷吞吐量: ≤500 DPH (可選600 DPH)

單晶圓吞吐量: ≥8 晶圓/小時 (50個缺陷/晶圓)

清潔等級與API參數

清潔等級: Class 1 可接受外界條件影響的結霜對機組性能的影響

API參數: +/-1.5um API (Automatic Process Control)

Applied Materials CX 200掃描電子顯微鏡是一款高性能、高精度的掩模和晶圓檢測設備，憑借其優(yōu)良的光學系統(tǒng)、強大的圖像處理能力和高效的自動化功能，能夠滿足現代半導體生產中對缺陷檢測的嚴格要求。

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掃描電子顯微鏡

Applied Materials CX 200 掃描電子顯微鏡

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